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Metal Oxide Nanocolumns for Extremely Sensitive Gas Sensors
분야 공학 > 기계공학
저자 ( Young Geun Song ) , ( Young-seok Shim ) , ( Soo Deok Han ) , ( Hae Ryong Lee ) , ( Byeong-kwon Ju ) , ( Chong Yun Kang )
발행기관 한국센서학회
간행물정보 센서학회지 2016년, 제25권 제3호, 184~188쪽(총5쪽)
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포스터발표1 : 에너지/환경1 ; P-175 : A study on recoverable SnO2-based semiconductor gas sensor for DMMP
 
 
영문초록
Highly ordered SnO2 and NiO nanocolumns have been successfully achieved by glancing-angle deposition (GLAD) using an electron beam evaporator. Nanocolumnar SnO2 and NiO sensors exhibited high performance owing to the porous nanostructural effect with the formation of a double Schottky junction and high surface-to-volume ratios. When all gas sensors were exposed to various gases such as C2H5OH, C6H6, and CH3COCH3, the response of the highly ordered SnO2 nanocolumn were over 50 times higher than that of the SnO2 thin film. This work will bring broad interest and create a strong impact in many different fields owing to its particularly simple and reliable fabrication process.
 
 
Gas sensors, Oxide semiconductors, SnO2, NiO, Glancing angle deposition
 
 
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