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분야
hwp1.MEMS의 정의
*MEMS란 무엇인가?
2.MEMS의 장점과 단점
3.MEMS의 등장 배경 및 이용기술
4.사용용도
*IT
*BT
*NT
*ST
*마이크로 로봇 기술
5.MEMS 이용 사례연구
6.미래전망
*미래의 MEMS와 발전 전망
7.참고문헌
-개요-
MEMS란 마이크로 시스템, 마이크로 머신, 마이크로 메카트로닉스 등의 동의어로서 혼용되고 있으며 번역하면 초소형 시스템이나 초소형 기계를 의미한다. 아직까지 정식으로 논의 되어 선정된 단어는 없지만 현재 선도 기술사업으로 진행되고 있는 기술개발 과제명은 초소 형 정밀기계 기술개발이라 부르고 있다.
현미경에 의하지 않고서는 형체를 알 수 없을 정도로 작은 기계가 공상소설의 영역을 벗어나 이제 현실공학의 새로운 분야로 정착 되었다.
한마디로 말해 개미와 같은 마이크로 로봇을 인공적으로 만들어서 미소한 운동이나 작업을 시키려고 하는 것이다. 즉 개미의 눈이나 촉각에 해당하는 각종 센서, 뇌나 신경에 해당하는 논리 회로, 팔과 다리에 대응하는 마이크로 메카니즘, 그것을 움직이게 하는 마이크로 액추에이터를 하나로 하는 시스템을 일컫는다. 크기는 수mm에서 수nm까지에 이르며 수cm크기라 해도 마이크로 머신이라고 불리는 경우도 있다.
MEMS기술/시장보고서, 한국전자통신영구원, IT전략품목 기술/시장보고서 02-14.2002.12
주병권, “MEMS및 나노 기술 개론” 중소기업청/KETI세미나, 2002.2
MEMS 기술과 광 통신 부품산업 : 이종현 - 광주과학기술원 기전공학과
윤준보
http://memslab.hanyang.ac.kr/ 한양대학교 mems 연구실
http://mems.yonsei.ac.kr/ 연세대학교 기계공학과 mems 실험실
