[화학] 진공증착 결과 레포트
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![[화학] 진공증착 결과 레포트-5](http://images.happyhaksul.com/thumb/411/410037-0005.gif)
분야
hwp2.실험이론
진공이란???
3. 실험 순서
4.실험결과
[실험값계산]
[고찰]
[참고문헌]
진공 증착이란 진공 중에서 금속이나 화합물을 증발시켜, 증발원과 마주 보고 있는 기판의 표면에 박막을 만드는 것을 말한다.
진공이 필요한 이유는 금속이나 화합물이 증발할 만큼 고온으로 하면, 대기 중에서는 산화나 원하지 않는 반응이 일어나기 때문이고 또 다른 이유는 금속 등이 증발할 때 공간에 있는 가스 분자와 충돌하면 상대 표면에 직접 도달하지 않기 때문에, 자유 공간을 확보하기 위해서 이다.
진공증착의 원리는 다음과 같다.
》막을 붙이는 시료와 막의 원료를 용기 내에 놓는다.
》전체를 진공상태로 하여, 원료를 열로 녹인다.(증발시킨다.)
》원료가 기체 분자가 되어 시료에 충돌, 부착 막이 형성된다.
진공이란???
진공장치에 의해 공기가 제거됨으로써 비어있음(empty)의 그리스어 에서 유래진공상태를 얻게 된다. 불가능 하므로 진공용기로부터 제거되는 하지만 기계적으로 완벽한 진공상태를 얻는 것은 공기량에 따라 진공의 정도가 결정된다.
3. 실험 순서
시료 및 장치 준비 과정(모든 세척과정에서는 반드시 일회용 비닐 장갑을 낀다.)
1) 기판 준비
① ultrasonic에 기판을 10분간 돌리고 20분간 150℃로 Dry Oven에 말린다.
② heating boat에 ALQ3를 고정시키고 기판에 증착판을 고정한다.
2) 증착 과정
① 쿨러을 켠다.
② R.P.Leak 밸브 및 3way 벨브, Air Leak, Main 벨브가 잠겼는지 확인한다.
③ 메인 스위치를 켜고 로터리 펌프를 켠다.
④ Pirani gauge를 확인한 후 10-2Pa까지 압력이 떨어지면 Rough way 쪽으로 벨브를 연다.
⑤ Chamber내의 압력이 충분히 떨어진 후 Fore way쪽으로 벨브를 연다.
⑥ 오일확산펌프의 압력이 10-2Pa까지 떨어지면 Rough way쪽으로 한번더 돌려서 메인벨브 아래와 위의 압력을 맞춘다음 다시 Fore way로 밸브를 돌리고 오일 확산 펌프를 켠다.
⑦ 오일 확산 펌프가 충분히 작동한다고 생각되면 Main 밸브를 열고 챔버 내의 압력을 10-5Pa까지 떨어뜨린다.
(이때 이온화게이지를 통해 압력을 체크하는데 이온화게이지는 수명이 있으므로 켰다가 확인하고 끄도록했다.)
⑧ 열판에 열을 가하여 증착을 시작한다.
3)끌 때
① 모든 압력 gauge를 끈다.
② main 벨브를 잠그고 3way밸브를 close로 돌린 다음 오일 확산 펌프를 끈다.
③ 오일 확산 펌프가 충분히 냉각되고 나면 R.P.Leak를 열고 로터리 펌프를 끈다.
④ 마지막으로 챔버 내로 공기를 유입시킨 다음 쿨러를 끄고 메인 스위치를 내린다.
