![[반도체] Transmission Electron Microscopy(TEM)-1](http://images.happyhaksul.com/thumb/438/437381-0001.gif)
![[반도체] Transmission Electron Microscopy(TEM)-2](http://images.happyhaksul.com/thumb/438/437381-0002.gif)
![[반도체] Transmission Electron Microscopy(TEM)-3](http://images.happyhaksul.com/thumb/438/437381-0003.gif)
![[반도체] Transmission Electron Microscopy(TEM)-4](http://images.happyhaksul.com/thumb/438/437381-0004.gif)
![[반도체] Transmission Electron Microscopy(TEM)-5](http://images.happyhaksul.com/thumb/438/437381-0005.gif)
![[반도체] Transmission Electron Microscopy(TEM)-6](http://images.happyhaksul.com/thumb/438/437381-0006.gif)
![[반도체] Transmission Electron Microscopy(TEM)-7](http://images.happyhaksul.com/thumb/438/437381-0007.gif)
![[반도체] Transmission Electron Microscopy(TEM)-8](http://images.happyhaksul.com/thumb/438/437381-0008.gif)
![[반도체] Transmission Electron Microscopy(TEM)-9](http://images.happyhaksul.com/thumb/438/437381-0009.gif)
![[반도체] Transmission Electron Microscopy(TEM)-10](http://images.happyhaksul.com/thumb/438/437381-0010.gif)
![[반도체] Transmission Electron Microscopy(TEM)-11](http://images.happyhaksul.com/thumb/438/437381-0011.gif)
![[반도체] Transmission Electron Microscopy(TEM)-12](http://images.happyhaksul.com/thumb/438/437381-0012.gif)
![[반도체] Transmission Electron Microscopy(TEM)-13](http://images.happyhaksul.com/thumb/438/437381-0013.gif)
![[반도체] Transmission Electron Microscopy(TEM)-14](http://images.happyhaksul.com/thumb/438/437381-0014.gif)
![[반도체] Transmission Electron Microscopy(TEM)-15](http://images.happyhaksul.com/thumb/438/437381-0015.gif)
![[반도체] Transmission Electron Microscopy(TEM)-16](http://images.happyhaksul.com/thumb/438/437381-0016.gif)
![[반도체] Transmission Electron Microscopy(TEM)-17](http://images.happyhaksul.com/thumb/438/437381-0017.gif)
![[반도체] Transmission Electron Microscopy(TEM)-18](http://images.happyhaksul.com/thumb/438/437381-0018.gif)
![[반도체] Transmission Electron Microscopy(TEM)-19](http://images.happyhaksul.com/thumb/438/437381-0019.gif)
![[반도체] Transmission Electron Microscopy(TEM)-20](http://images.happyhaksul.com/thumb/438/437381-0020.gif)
분야
pptTEM 의 특징
TEM의 구성요소
TEM 분석 – 명시/암시 야상, 회절 패턴
반도체 공정에서의 TEM 응용
References
필라멘트, shield, anode등으로 구성된 전자총과 집광렌즈로 구성
- Tungsten ( Hair Pin 형), LaB6형, Field Emission (FE) 형 등의 전자총 (Electron Gun)을 장착하여 발생된 전자선을 여러 단계에 걸쳐서 가속관에서 가속시킴
specimen manipulation system
시편은 Cu로 만들어진 grid에 부착 시킨 뒤 시편 지지대를 air lock을 통하여 column내로 넣고, 다시 진공을 만든 뒤 현미경의 specimen stage로 이동
Specimen stage는 x, y방향으로 약 10 nm 단위로 이동이 가능, 회전 및 기울기 변화 가능
유기물 시편과는 달리 ceramics, metals의 시편에서는 확대된 영상 뿐만 아니라 원자의 배열에 따른 회절패턴이 중요하므로 double-tilt specimen stage가 필요
전자빔과 시편과의 상호작용에 의하여 열이 발생하기 때문에 열적 진동에 따른 image 및 회절패턴의 흐려짐(blurring)을 방지하기 위하여 cold-stage double tilt specimen holder를 사용하면 좋음
Viewing System
Projector lens에 의해서 형성된 영상은 마지막으로 phosphorescent zinc-activated cadmium sulfide powder가 도포된 스크린에 영상형성
스크린은 기울여서 볼 수도 있으며 stereomicroscope를 이용하여 더욱 확대된 영상 관찰 가능
Ring pattern
- 전자빔에 의해서 조사된 서로 다른 결정학적 방향을 가진 입자들이 각각 Bragg's law 를 만족하며 전자들을 회절 시킬 때 발생
화학증착방법(CVD) 이나 electrodeposit 된 박막등과 같이 매우 미세한 입자들로 구성된 다결정(polycrystalline)과 전자빔이 간섭할 때 발생
크기가 작은 석출물(precipitates)의 상 확인시
Kikuchi pattern
결정학적 방향, 회절벡터, 시편의 방위(orientation), 상(phases)들 사이의 방위관계 등을 결정할 때
시편을 tilting시킬 때, Kikuchi map을 이용하여 쉽게 tilting방향 및 각도를 조절
정확한 Bragg's position으로부터 이탈된 정도를 나타내는 deviation vector s의 크기와 방향 결정
Spot pattern
- 상(phase)들 사이의 orientation 관계나 시료의 defect structure 분석 시
투사전자현미경 분석학, 금동화 외 3인, 청문각, 반조출판사
Transmission electron microscopy of semiconductor nanostructures, A. Rosenauer, Springer
Handbook of semiconductor manufacturing technology, Y. Nishi, R. Doering, Marcel Dekker
삼성전자 반도체 소자 수업 자료 (2005-01학기)
http://super.gsnu.ac.kr/lecture/microscopy/temoptic.html
http://barrett-group.mcgill.ca/teaching/nanotechnology/
www.research.ibm.com/journal/rd/
www.future-fab.com/
http:// sauvignon.mit.edu/
