[공학]주사전자현미경(Scanning Electron Microscope)

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레포트 > 공학계열
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소개글

[공학]주사전자현미경(Scanning Electron Microscope)에 대한 자료입니다.

전자현미경이란?
주사전자현미경(SEM)이란?
주사전자현미경의 개략도
주사전자현미경의 구조
주사전자현미경 특성
광학현미경과 주사전자현미경
현미경의 빛 경로
광학현미경과 주사전자현미경
주사전자현미경의 활용
계획 사항

본문내용

높은 에너지의 전자빔을 이용.
전자가 시편과 충돌할 때 발생하는 이차전자, 반사전자, X-선 등을 검출하여 확대상을 촬영하는 장치.

종 류
1. SEM(주사전자현미경)
2. TEM(투과전자현미경)
진공 중에 놓여진 시료표면에 미세한 전자선으로 x-y의 이차원방향으로 주사하여 시료표면에서 발생하는 이차전자, 반사전자 신호를 검출하여 모니터에 확대상을 표시하는 장치.
시료의 형태, 미세구조의 관찰, 구성원소의 분포, 정성, 정량 등을 분석.
주로 금속 등 도체, IC, 산화물 등 반도체, 고분자 재료나 세라믹 등 절연물의 고체, 분말, 박막시료가 표본이 됨.
장 점
1. 분해능이 높기 때문에 고배율로 물체를 관찰.
2. 10~100배의 저배율 관찰.
3. 피사계 심도가 대단히 깊다.
4. 디지털 영상을 제공하기 때문에 영상의 저장
은 물론 영상에 대한 다양한 분석이 가능.
5. 다양한 검출기 및 주변기기를 장착하여 응용
분야를 확장 가능.
단 점
1. 여러 가지 복잡한 장치가 요구.
2. 전자빔을 이용하기 때문에 진공이 필수적.
3. 전자현미경은 크고 복잡하며 가격 또한 비쌈.

#주사전자현미 #주사전자현미경 #Scanning #Electron #Microscope

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