소개글
[반도체공정]이차이온 질량 분석기(SIMS)에 대한 자료입니다.
목차
1 SIMS 란?
2 분석 원리
3 분석 기술의 특징
4 분석 기술의 종류
5 적용분야
본문내용
▷ 장점
- 극소량의 시료로도 분석가능
- 전종류의 원소, 동위 원소 검출 가능
- 이온영상맵핑, 라인스캐닝 가능
▷ 단점
- 전자상태에 따른 이차이온수율의 변화
- 정확한 정량화 및 정성분석의 한계
- 복잡한 질량스펙트럼에 따른 질량간섭
- Depth profile
- Ion imaging
- Quantification(정량화)
- 표면 원소의 규명
- 원소농도 분포 분석
- 반도체재료의 불순물 농도 분포 분석
- 금속 재료의 불순물 비교조사
- 고분자 화합물의 조성 분석
- 표면 원소의 물리,화학적 특성연구