![[나노공학] 논문요약-이차이온질량분석기의 깊이 분포도를 이용한 동선의 열적 확산에 대한 연구-1](http://images.happyhaksul.com/thumb/498/497916-0001.gif)
![[나노공학] 논문요약-이차이온질량분석기의 깊이 분포도를 이용한 동선의 열적 확산에 대한 연구-2](http://images.happyhaksul.com/thumb/498/497916-0002.gif)
![[나노공학] 논문요약-이차이온질량분석기의 깊이 분포도를 이용한 동선의 열적 확산에 대한 연구-3](http://images.happyhaksul.com/thumb/498/497916-0003.gif)
![[나노공학] 논문요약-이차이온질량분석기의 깊이 분포도를 이용한 동선의 열적 확산에 대한 연구-4](http://images.happyhaksul.com/thumb/498/497916-0004.gif)
![[나노공학] 논문요약-이차이온질량분석기의 깊이 분포도를 이용한 동선의 열적 확산에 대한 연구-5](http://images.happyhaksul.com/thumb/498/497916-0005.gif)
![[나노공학] 논문요약-이차이온질량분석기의 깊이 분포도를 이용한 동선의 열적 확산에 대한 연구-6](http://images.happyhaksul.com/thumb/498/497916-0006.gif)
![[나노공학] 논문요약-이차이온질량분석기의 깊이 분포도를 이용한 동선의 열적 확산에 대한 연구-7](http://images.happyhaksul.com/thumb/498/497916-0007.gif)
![[나노공학] 논문요약-이차이온질량분석기의 깊이 분포도를 이용한 동선의 열적 확산에 대한 연구-8](http://images.happyhaksul.com/thumb/498/497916-0008.gif)
![[나노공학] 논문요약-이차이온질량분석기의 깊이 분포도를 이용한 동선의 열적 확산에 대한 연구-9](http://images.happyhaksul.com/thumb/498/497916-0009.gif)
![[나노공학] 논문요약-이차이온질량분석기의 깊이 분포도를 이용한 동선의 열적 확산에 대한 연구-10](http://images.happyhaksul.com/thumb/498/497916-0010.gif)
![[나노공학] 논문요약-이차이온질량분석기의 깊이 분포도를 이용한 동선의 열적 확산에 대한 연구-11](http://images.happyhaksul.com/thumb/498/497916-0011.gif)
![[나노공학] 논문요약-이차이온질량분석기의 깊이 분포도를 이용한 동선의 열적 확산에 대한 연구-12](http://images.happyhaksul.com/thumb/498/497916-0012.gif)
![[나노공학] 논문요약-이차이온질량분석기의 깊이 분포도를 이용한 동선의 열적 확산에 대한 연구-13](http://images.happyhaksul.com/thumb/498/497916-0013.gif)
![[나노공학] 논문요약-이차이온질량분석기의 깊이 분포도를 이용한 동선의 열적 확산에 대한 연구-14](http://images.happyhaksul.com/thumb/498/497916-0014.gif)
![[나노공학] 논문요약-이차이온질량분석기의 깊이 분포도를 이용한 동선의 열적 확산에 대한 연구-15](http://images.happyhaksul.com/thumb/498/497916-0015.gif)
![[나노공학] 논문요약-이차이온질량분석기의 깊이 분포도를 이용한 동선의 열적 확산에 대한 연구-16](http://images.happyhaksul.com/thumb/498/497916-0016.gif)
![[나노공학] 논문요약-이차이온질량분석기의 깊이 분포도를 이용한 동선의 열적 확산에 대한 연구-17](http://images.happyhaksul.com/thumb/498/497916-0017.gif)
![[나노공학] 논문요약-이차이온질량분석기의 깊이 분포도를 이용한 동선의 열적 확산에 대한 연구-18](http://images.happyhaksul.com/thumb/498/497916-0018.gif)
![[나노공학] 논문요약-이차이온질량분석기의 깊이 분포도를 이용한 동선의 열적 확산에 대한 연구-19](http://images.happyhaksul.com/thumb/498/497916-0019.gif)
![[나노공학] 논문요약-이차이온질량분석기의 깊이 분포도를 이용한 동선의 열적 확산에 대한 연구-20](http://images.happyhaksul.com/thumb/498/497916-0020.gif)
분야
pptx2.Structure
3.Ion Energy analyzer
4.Mass Analyzer
5.Depth Profile
6.SIMS vs. Others
7.장점 & 단점
8.Application
9.SIMS를 이용한 동선의 열적 확산
10.Conclusion
11.Q&A
- Depth profile
- 모든 종류의 원소, 동위 원소 검출 가능
- ppb까지 분석
이온 영상 mapping, line scanning 가능
단점
분석시 많은 시간과 돈이 소요됨
시료 파괴
- 반도체 doping profiling
- 표면 원소의 규명
- 금속 재료의 불순물 비교조사
- 고분자 화합물의 조성
600V 2종 비닐 절연전선(HIV)의 과전류에 의한 열적 산화 및 흡착에 대해 분석
Cs+ 일차 이온빔을 사용하여 depth porfiling
일반동선 / PVC가 코팅된 동선의 열적 확산 비교
