[화학공학] 진공증착(Vacuum deposition의 이해와 증착속도에 따른 압력변화측정)

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소개글
[화학공학] 진공증착(Vacuum deposition의 이해와 증착속도에 따른 압력변화측정)에 대한 자료입니다.
목차
실험의 목적
실험의 이론
실험 기구들
실험방법
유의사항
참고문헌
본문내용
진공 증착의 정의 : 진공 속에서 금속이나 화합물을 증발시켜 기판의 표면에 박막을 만드는 것
* 반사경, 화장품 용기, 가전제품, 완구,생활용품, 자동차 헤드라이트, 회중전등 등에 이 기술이 적용되고 있음.


기체의 흐름
진공 챔버로부터 기체 분자를 빼내기 위해 기체 흐름을 알아야 한다.
대표적으로 점성유동과 분자유동이 있다




(2) 분자 유동
보통 10-2Torr보다 낮은 압력에서는
분자들의 움직임이 불규칙적이며
서로간에 영향을 주지 못하는데
이를 분자유동이라 한다.

실험 순서
1) 기판 준비
① ultrasonic에 기판을 10분간 돌리고
20분간 150℃로 Dry Oven에 말린다.
② heating boat에 ALQ3를 고정시키고
기판에 증착판을 고정한다.



⑤ Chamber내의 압력이 충분히 떨어진 후 다시 Fore way쪽으로 벨브를 연다.
⑥ 오일확산펌프의 압력이 10-2Pa까지 떨어지면 Rough way쪽으로 한번더 돌려서 메인 벨브 아래와 위의 압력을 맞춘다음 다시 Fore way로 밸브를 돌리고 오일 확산 펌프를 켠다.
⑦ 오일 확산 펌프가 충분히 작동한다고 생각되면 Main 밸브를 열고 챔버 내의 압력을 10-5Pa까지 떨어뜨린다.
⑧ 열판에 열을 가하여 증착을 시작한다.
참고문헌
화학 공학 실험(II), 부산대학교 화학공학과(2003)
vacuum deposition of UPF to substrate surface(American Chemical Society 2002년 기사)
http://cafe.naver.com/chemnet
한국 표준 과학 연구원
http://www.sanyu-electron.co.jp/genri/index.html
www.google.com(google백과사전)