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[공학] TiN 박막의 결정조직을 분석하고 특성향상을 위한 방안 제시

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2011.11.21
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소개글

[공학] TiN 박막의 결정조직을 분석하고 특성향상을 위한 방안 제시에 대한 자료입니다.

1.설계 목적 및 목표
2.설계에 사용된 분석기기
3.본 론
4.결 론
5.설계 진행 과정
6.References / Q & A

본문내용

바이어스 전압
변화에 따른 peak 관찰
↓
결정립 성장 및 크기 분석
↓
고정 공정 변수인
바이어스 전압 결정

Shadowing effect 극복

초기 핵생성 시 치밀한
결정구조 형성

충진율 향상 / 기공율
감소로 내식성 향상

김우중 외 3명(2006) 「공구강 위에 코팅된 TiN 박막에서 결정조직이 내식성에 미치는 영향」

2011년 현재 TI 시장규모 예측

4500억원
X
0.2
ll
900억원

장비명 기준 사용료 비고

HR-XRD(Thin Flim)/D8DISCOVER/Bruker 시편 30,000원
시편 120,000원 분석결과 해석
8시간/night 240,000원
*예약 취소시 사용료부과기준(예약 시간 기준) - 3일전 : 미부과- 예약 24시간 이전 20%- 예약당일 50%- 예약 후 미 분석자 80% 부과* 1개 시편 분석시간 30분 초과시 추가요금 부과
E-beam 시간 60,000원

참고문헌

김우중 外 3명 「공구강 위에 코팅된 TiN박막에서 결정조직의 영향 」 Corrosion and Protection 2005.October
장정환 外 4명 「TiN과 TiCN 코팅층의 마찰, 마모 특성에 관한 연구」 한국공구 협회 2009 p33~36
김선태 「기기분석지침 」 광일 문학사 (1994)
이민구 「Reactive Magnetron Sputter Ion Plating법으로 증착된 TiN 박막의 증착 특성과 침식 특성에 관한 연구」 한국과학기술원 1998
이도영 ▪ 정지원 「RF 마그네트론 스퍼터링에 의하여 증착된 TiN 박막의 물성에 대한 증착 변수의 영향」 인하대학교 (2008)
이중근 外「 고 기능성 세라믹스 기술개발전략」 한국과학기술연구원 (1995)

김현후 外 8명 「 Triode magnetron sputtering의 제작 및 특성평가 」 한국전기전재재료학회 (2003)
한국 기계 연구원 재료 기술 연구소 (금속의 표면경화 기술현황, 2004)
류준옥 外 2명 (1995) 「스퍼터링 증착조건이 TiN막의 마모특성에 미치는 영향」
㈜ 동해 플라즈마 – TiN 코팅 조건
김영직 교수님 「융체 제어 공학」 수업자료

#특성향상 #결정조직 #TiN #방안 #박막

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