![[태양전지] CIGS 박막 태양전지용 박막 증착 공정 및 장비-1](http://images.happyhaksul.com/thumb/561/560020-0001.gif)
![[태양전지] CIGS 박막 태양전지용 박막 증착 공정 및 장비-2](http://images.happyhaksul.com/thumb/561/560020-0002.gif)
![[태양전지] CIGS 박막 태양전지용 박막 증착 공정 및 장비-3](http://images.happyhaksul.com/thumb/561/560020-0003.gif)
![[태양전지] CIGS 박막 태양전지용 박막 증착 공정 및 장비-4](http://images.happyhaksul.com/thumb/561/560020-0004.gif)
![[태양전지] CIGS 박막 태양전지용 박막 증착 공정 및 장비-5](http://images.happyhaksul.com/thumb/561/560020-0005.gif)
![[태양전지] CIGS 박막 태양전지용 박막 증착 공정 및 장비-6](http://images.happyhaksul.com/thumb/561/560020-0006.gif)
![[태양전지] CIGS 박막 태양전지용 박막 증착 공정 및 장비-7](http://images.happyhaksul.com/thumb/561/560020-0007.gif)
![[태양전지] CIGS 박막 태양전지용 박막 증착 공정 및 장비-8](http://images.happyhaksul.com/thumb/561/560020-0008.gif)
![[태양전지] CIGS 박막 태양전지용 박막 증착 공정 및 장비-9](http://images.happyhaksul.com/thumb/561/560020-0009.gif)
![[태양전지] CIGS 박막 태양전지용 박막 증착 공정 및 장비-10](http://images.happyhaksul.com/thumb/561/560020-0010.gif)
분야
hwp2. 본론
3. 결론 및 요약
4. References
② 광흡수층 (Absorber layer)
4원소 화합물인 CIGS는 다양한 제조 방법이 있고 그 종류로는 진공증착, 비진공방법(나노프린팅, 전기도금 등)이 있다. 이 중 가장 많이 활용되고 있는 진공증착 방법으로는 증발법(Evaporation)과 2단계 공정(Two-step process)법 두 가지가 대표적인 공정으로 알려져 있다.
✔ 증발법 (Evaporation)
증착이라고 부르는 현상은 기체 상태로 증발된 원자나 분자 혹은 입자가 낮은 온도의 다른 물체(기판)을 만나 표면에 다시 고체 상태로 응축되는 현상이며 이런 현상이 진공상태에서 일으키기 때문에 진공증착이라고 부른다. 증발법은 Fig 8)과 같이 단위 원소인 구리(Cu), 인듐(In), 갈륨(Ga) 및 셀레늄(Se)을 열증발원을 이용하여 동시에 증발시켜 고온 기판에 박막을 형성하는 방법이다. Chamber는 펌프를 사용하여 높은 진공 상태를 유지시키고, 아래쪽에는 증발시킬 재료인 Source 공급원을 설치한다. 전기적 저항을 주거나 전자빔 등으로 Source를 가열하면, Chamber 내로 분산되어 날아가게 된다. 이렇게 날아 온 기체 원자 및 분자들은 기판 표면에 응축되어 박막화가 이루어지게 된다. 진공증착에서 증발된 기체들은 오로지 열에너지로 인한 것이므로 에너지가 충분히 높질 못하여 밀착력이 떨어질
Fig 9) 인라인 증발법에 의한 CIGS 흡수체 제조
수 있다는 단점이 있다. 반면 각각의 증발원을 독립적으로 설치하여 사용하기 때문에 원소의 조성 제어가 용이하다. 그러나 기본적으로 증발원이 점원이기 때문에 대면적 기판에 박막을 형성하기에는 불리한 점이 많다. 대면적 박막의 대량 생산을 위해서는 인라인(In-line)으로 수평 이동하면서 박막이 제작되어야 하는데, 산업화에서는 대면적화에 적합한 인라인 증발법 Fig 9)이 사용되고 있다.
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3.김제하, 화합물반도체 박막태양광발전 기술과 산업동향, IT SoC magazine November 2009, 32-33
4.김제하 외 4명(2008), 박막형 태양전지 기술 및 산업 동향, 전자통신동향분석 제 23권 제6호 2008년 12월, 6-7
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7.http://www.kemco.or.kr/up_load/blog/CIGS(CuInGaSe2)%20%EB%B0%95%EB%A7%89%ED%98%95%20%ED%83%9C%EC%96%91%EC%A0%84%EC%A7%80%20%EA%B8%B0%EC%88%A0%20_%2008%20%EC%B5%9C%EC%9D%B8%ED%99%98.pdf
8.http://bobjyeon1.tistory.com/entry/%ED%83%9C%EC%96%91%EC%A0%84%EC%A7%80-%EC%A2%85%EB%A5%98
9. 세계와 유럽의 태양광발전 개발현황 및 관련 산업현황, 한국과학기술정보연구원 전문연구위원 김영철 http://attfile.konetic.or.kr/konetic/xml/MARKET/51Z2A1010434.pdf
10. CIGS 박막 태양전지 기술동향 및 시장전망 2006~2013년, Solar&Energy Co., Ltd 태양광 발전의 비전
