소개글
[기기분석] SEM & AFM에 대한 자료입니다.
목차
1.이론 및 원리
2.구조 및 기능
3.전처리
4.실험방법
5.전처리/실헝방법
6.결과해석
7.장단점 및 응용분야
본문내용
1.이론 및 원리
★ SEM
시료에 입사된 전자빔의 상호작용으로 다음 3가지 종류의 신호가 발생된다.
후방산란전자
2차 전자
X선 형광
★ AFM
주사탐침현미경
(SPM; scanning probe microscope)
탐침을 시료에 근접시켰을 때 바늘 끝이 느끼는 근접장 상호 작용을 이용하여 표면 형상뿐 아니라 다양한 물리적 특성을 검출하는 장치
AFM
원자힘현미경
atomic force microscope
STM
주사터널링현미경
scanning tunneling microscope
★ Piezo force
특정 물질에 힘을 가해 변형을 주면 표면에 전압이 발생하고 반대로 전압을 걸면 소자가 이동하거나 힘이 발생하는 현상