활발히 진행되고 있는 최적형상 및 최적설계 기법 중 용량성 마이크로 스위치(Capacitive micromachined switch)에서의 최적설계[1], 마이크로 센서 및 마이크로 엑추에이터 에서의 민감도 최적형상 연구[2], 상용소프트웨어를 이용한 MEMS의 최적화[3]에 대한 최신의 연구방법 및 결과에 대해서 기술하고자 한다.
해석하는 기본적인 기술이다.
- 진폭의 정량화
ㆍPeak-to-peak : 피크-피크 값은 파의 최대 변화를 나타내기에 편리. 따라서 진동의 변위가 중요시 되는 경우 사용된다.
ㆍPeak : 피크 값은 짧은 시간에 일어나는 충격 등과 같은 크기를 나타내기에 유용하다. 그러나단지 최대 값 만을 표시할 뿐
의 속도로 디스크가 회전을 하고 편심이 라고 할 전체 시스템의 동적 특성을 운동 방정식으로 나타내시오. (베어링과 축의 댐핑은 무시한다.)
앞에서 세운 운동방정식에서 디스크의 회전을 고려하였을 때 달라지는 점은 디스크의 회전에 의해 가진력이 생긴다는 것이다. (b)에서와 마찬가지로, 편심
2. 제프콧 로터 시스템
제프콧 로터 시스템은 회전체 역학에 사용되는 모델 중에서 가장 단순한 모델이다. 이것을 도시하면 다음 그림과 같다.
그림 2. 스프링, 댐퍼로 지지되는 제프콧 로터 모델
(a) 가장 간단한 가정은 양 옆에 지지되는 베어링 성분에서 강성은 무한대이고 댐핑은 존재하지 않는
(b) 위의 그림에 도시된 축 시스템의 경우 이론적으로 데이터가 Maxwell의 상반정리를 만족하게 된다. 즉, 1의 노드에 가속도계를 장착하고 3번에서 임팩트 해머를 때리는 것이나 3번에 가속도계를 장착하고 1번에서 임팩트 해머를 때리는 것의 주파수 응답은 동일하다. 그러나 실험과정에서 이런 상반 정