1.MEMS 및ICS에 사용되는 식각공정을 분류하고 이에 대하여 장단점과 특성을 아는바 대로 기술하시오
MEMS 식각공정은 건식식각공정이 대표적이다.
건식식각기술은 용액 속에서 식각을 하지 않고 기체상태에서 용액 없이 식각을 진행 하는 방법으로 가스 식각, 스퍼터링효과 식각, RIE 식각으로 분류
NEC는 최근 카본나노튜브(이하 CNT)의 한 종륲인 카본나노혼(CNH)을 촉매담지전극에 사용하므로써 이와 같은 휴대용 연료전지의 성능을 향상시킬수 있음을 보였다.
카본나노튜브는 1991년에 이이지마에 의해 발견된 것으로 지금은 나노기술의 대표적인 소재로서 세계의 주목을 받고 있다. 그 한 종류
위해서 먼저 독립적으로 설계된 각각의 군을 일정하게 주어진 값대로 공기간격을 설정하면 줌 궤적을 포함한 모든 1차 특성 내에서 렌즈모듈 줌 광학계와 동일한 실제 렌즈를 얻을 수 있다.
iv ) 렌즈 제작의 기본적인 개요
마이크로 렌즈는 광학 시스템에서 매우 중요한 구성요소로써 원하는
공학의 새로운 분야로 정착 되었다.
한마디로 말해 개미와 같은 마이크로 로봇을 인공적으로 만들어서 미소한 운동이나 작업을 시키려고 하는 것이다. 즉 개미의 눈이나 촉각에 해당하는 각종 센서, 뇌나 신경에 해당하는 논리 회로, 팔과 다리에 대응하는 마이크로 메카니즘, 그것을 움직이게 하는
공학의 새로운 분야로 정착 되었다.
한마디로 말해 개미와 같은 마이크로 로봇을 인공적으로 만들어서 미소한 운동이나 작업을 시키려고 하는 것이다. 즉 개미의 눈이나 촉각에 해당하는 각종 센서, 뇌나 신경에 해당하는 논리 회로, 팔과 다리에 대응하는 마이크로 메카니즘, 그것을 움직이게 하는