Dopant 종류에 따라
- N-Type : 5가 원소(P, Sb) 를 Dopant로 사용, 과잉전자 발생
- P-Type : 3가 원소(B) 를 Dopant로 사용, Hole 발생
결정성장 방향에 따라
- 100
- 111
웨이퍼의 직경에 따라
- 3인치, 4인치, 5인치, 6인치
실리콘은 회색의 깨지기 쉬운 비금속성 4족 원소로서 지구상 물질의 27.8%를 차지하는 자연계에서 산소 다음으로 풍부한 원소.
반도체 칩을 만들기 위해서먼저 추출된 실리콘을 얇은 판 모양의 웨이퍼 상태로 만들어야 한다.
순도 99.9% 이상의 단결정 규소를 얇게 잘라 표면을 매끈하게 다듬은 것이
제목: 오존수와 고체산(sol-gel법)을 이용한 웨이퍼 세정
문제제기: .기존 RCA법의 요염물 다량 배출(H202, DI water 및 HCl)
기존 RCA법에서 고가 운영비(과산화수소 처리공정, 높은 온도유지)
.반도체가 점점 작아지면서 미세한 오염물 제거의 필요성
지표면 오존의 심각성(오존주의보)