측정시 측정센서와 토양의 압밀, 공극 등의 차이로 인해 상대적인 변화 값으로 해석해야하는 경우가 발생하는 것이다.
토양수분 측정 원리도 전기가 통하는 성질이 아니라 외부전계에 분자가 반응하는 정도인 유전율(물 :80~81 / 흙입자 : 3~8)을 이용하여 측정하는 것이며, 몇 개의 파가 돌아오는 가가
센서를 대량으로 재현성 있게 생산하는 데 필요한 생체정보 신호처리 시스템 및 그 플랫폼 제작에 응용이 기대되는 자기 센서를 이용한 바이오센서에 대한 연구는 1998년 미국 해군연구소(Naval Research Lab.: NRL)에서 85㎛×5㎛ 크기의 GMR 센서를 사용하여 단일 마이크로 입자측정에 성공 한 것이 최초이다. 2
측정센서를 통해 박막의 두께를 확인하며 공정을 진행할 수 있다. 박막은 보통 0.5 Aring/sec ~ 1.0 Aring/sec의 증착 속도로 증착을 하며 3, 4 인치 웨이퍼를 비롯하여 여러 가지 시편 위에 박막 증착이 가능하다. 또한 3인치 웨이퍼의 경우 1회에 2장을 동시에 금속 증착을 할 수 있다.
열증착법 (Thermal evaporation)