전자현미경(EM, Electron Microscope)
1. 전자현미경의 종류
전자현미경에서는 광학현미경 광학 현미경: (LM: Light Microscope) 유리렌즈로 관찰하며 광원(빛)은 가시광선을 사용한다. 따라서 컬러로 관찰이 가능하다.
과는 달리 유리렌즈 대신에 자계렌즈(마그네틱 렌즈)를 이용하고, 광원은 가시광선 대신
높은 에너지의 전자빔을 이용.
전자가 시편과 충돌할 때 발생하는 이차전자, 반사전자, X-선 등을 검출하여 확대상을 촬영하는 장치.
종 류
1. SEM(주사전자현미경)
2. TEM(투과전자현미경)
진공 중에 놓여진 시료표면에 미세한 전자선으로 x-y의 이차원방향으로 주사하여 시료표면에서 발생하는 이
현미경의 내부는 진공상태 - 전자는 공기와 충돌하면 에너지가 소실되거나 굴절되는 등 원하는 대로 제어하기 어렵기 때문
배율 - 표본과 대물렌즈와 렌즈 사이의 거리는 일정, 중간렌즈와 투영렌즈의 코일에 통하는 전류의 세기에 의해 배율이 결정되며
초점 - 대물렌즈의 코일에 흐르는 전류에 의
1. 주사전자현미경(SEM)이란?
전자현미경은 빛의 속도로 이동하는 전자의 파동성을 이용한 전자가속기로서 전자빔과 전자기렌즈를 이용하여 촛점을 형성한다. 가속전압은 대개 60-100 keV이고 illumination source로서는 텅스텐으로 만든 필라멘트를 사용하는데, 이를 전자총 (electron gun)이라고 부른다. 전자총
현미경의 개발 역사
목적에 따라서 투과형·반사형·주사형 등으로 분류된다. 음극선 오실로스코프에 전자렌즈를 첨부한 형태인데, 오늘날의 전자현미경의 원형은 1932년경 독일의 E.루스카에 의해 완성된 것이라고 할 수 있다.
광학현미경의 분해능(分解能)이 빛의 파장에 의해 제한되는 데 대해, 전