1) 1 ⇒ 2 구간 (단열압축과정)
① 이상적인 사이클
단열 압축 과정이므로 Q(열전달량)=0 이며 가역적 반응이므로 ds(엔트로피 변화량)이 없어 그림에서 보이듯이 등 엔트로피 선을 따라 1에서 2로 가게 된다. 압축과정이므로 압력이 올라가며 이로 인한 일에 의해 엔탈피의 증가도 있다. 일정한 공간
활발히 진행되고 있는 최적형상 및 최적설계 기법 중 용량성 마이크로 스위치(Capacitive micromachined switch)에서의 최적설계[1], 마이크로 센서 및 마이크로 엑추에이터 에서의 민감도 최적형상 연구[2], 상용소프트웨어를 이용한 MEMS의 최적화[3]에 대한 최신의 연구방법 및 결과에 대해서 기술하고자 한다.
□ 접촉식 정전용량 방식(capacitive overlay)
○ 구 성
열처리가 되어 있는 강화유리 양면에 투명한 특수 전도성 금속(tao)을 코팅하여 만들어 진다.
○ 원 리
① 스크린의 네 귀퉁이에 전압을 걸어주면, 구석에서 발생되는 고주파가 센서 전면에 퍼지게 된다.
② 이때, 손가락으로 스크린을 접촉하게