압력을 10-5Pa까지 떨어뜨린다.
(이때 이온화게이지를 통해 압력을 체크하는데 이온화게이지는 수명이 있으므로 켰다가 확인하고 끄도록했다.)
⑧ 열판에 열을 가하여 증착을 시작한다.
3)끌 때
① 모든 압력 gauge를 끈다.
② main 벨브를 잠그고 3way밸브를 close로 돌린 다음 오일확산펌프를
3. 실험 결과
(1) 시료별 증착 속도와 압력 강하 및 그에 따른 측정값
시료증착 속도(Å/S)
처음 압력(Pa)
1분후 압력(Pa)
증착 시작시 전류(A)
전압(V)
누적증착량
(kA)
1
0.5
5.0X10-3
3.0X10-3
43.5
1.2
0.051
2
1.0
5.0X10-3
3.5X10-3
47.8
2.0
0.180
(2) 시료의 질량변화
질량
시료실험전 총무게실험
실험 순서
1) 기판 준비
① ultrasonic에 기판을 10분간 돌리고
20분간 150℃로 Dry Oven에 말린다.
② heating boat에 ALQ3를 고정시키고
기판에 증착판을 고정한다.
⑤ Chamber내의 압력이 충분히 떨어진 후 다시 Fore way쪽으로 벨브를 연다.
⑥ 오일확산펌프의 압력이 10-2Pa까지 떨어지면 R
3. 실험결과
<이상기체상태방정식을 이용한 증착량 계산>
o 이상기체가정, 이상기체방정식(PV=nRT) 성립
o Chamber의 부피 m3, 온도 25℃
o Alq3의 분자량은 459.44g/mol 이다.
o 증발한 시료의 몰수는 = 실험 후 기체의 몰수-실험 전 기체의 몰수
o 증발한 시료의 무게는 = 실험 전 시료의 무게-실험
투과전자현미경은 주로 시료의 내부구조나 단면을 관찰하는데 쓰이고 있다. 원리는 광학현미경과 비슷하다. 전자현미경에서의 광원은 높은 진공 상태(1x10-4 이상)에서 고속으로 가속되는 전자선으로 이 전자선이 표본을 투과하여 형광판이나 사진필름에 초점을 맞추어 투사된다. 이 전자의 파장은 가