증착을 시작한다.
3)끌 때
① 모든 압력 gauge를 끈다.
② main 벨브를 잠그고 3way밸브를 close로 돌린 다음 오일 확산 펌프를 끈다.
③ 오일 확산 펌프가 충분히 냉각되고 나면 R.P.Leak를 열고 로터리 펌프를 끈다.
④ 마지막으로 챔버 내로 공기를 유입시킨 다음 쿨러를 끄고 메인 스위치를 내린다.
3. 실험결과
<이상기체상태방정식을 이용한 증착량 계산>
o 이상기체가정, 이상기체방정식(PV=nRT) 성립
o Chamber의 부피 m3, 온도 25℃
o Alq3의 분자량은 459.44g/mol 이다.
o 증발한 시료의 몰수는 = 실험 후 기체의 몰수-실험 전 기체의 몰수
o 증발한 시료의 무게는 = 실험 전 시료의 무게-실험
압력이 10-2Pa까지 떨어지면 Rough way쪽으로 한번더 돌려서 메인 벨브 아래와 위의 압력을 맞춘다음 다시 Fore way로 밸브를 돌리고 오일 확산 펌프를 켠다.
⑦ 오일 확산 펌프가 충분히 작동한다고 생각되면 Main 밸브를 열고 챔버 내의 압력을 10-5Pa까지 떨어뜨린다.
⑧ 열판에 열을 가하여 증착을
잡아준다. 증착기에서 사용하는 밸브는 release 밸브를 제외하고는 모두 공기압식 밸브를 사용한다. release 밸브는 갑작스런 정전이나 조작상의 실수로 인하여 펌프의 오일이 챔버와 배기 라인으로 역류하는 것을 방지하기 위한 솔레노이드식(Solenoid type)밸브로써, 정상 작동시에는 동작하지 않는다.