사용방법에 따라 조금씩 차이가 난다. 또한 작동 원리에 따른 분류로는 크게 positive displacement 펌프와 entrapment 펌프로 나눌 수 있다.
- positive displacement 펌프 : 기체를 진공 용기 외부로 제거하는 펌프로 로터리 펌프(rotary vane pump), 터보분자펌프(turbo-molecularpump) 등 대부분의 기계적인 펌프
, 표면분석장치, 질량분석
진공 기술의 응용을 위해서는 진공 펌프를 이용하여 진공상태를 만들어야 되는데, 진공을 처음 대하는 사람은 우선 많은 종류의 펌프를 보고 놀랄 것이다. 또 진공 시스템을 보면 적어도 두 종류 이상의 펌프가 사용됨을 보고 의문을 가질 수 있는데, 이는 무엇보다도 모든
Pump의 경우를 돌아보면 흡입 액체의 압력 (일상에서의 대기압)이 포화증기압보다 낮아지면 그 흡입 액체 내부에 기포가 많이 발생할 수가 있게 된다.
이를 해석하기 위해 NPSH라는 개념이 필요하다고 할 수 있다.
- 방지대책
① 펌프의 설치 높이를 가능한 한 낮추어 흡입양정을 짧게 한다.
② 수직
1. 펌프의 원리
가. 흡입 Suction
펌프본체 내부에 기계적인 방법으로 저압부(진공부)를 만들어두면 대기압을 받고 있는 잦은 위치의 유체가 펌프본체 내로 흡입되게 된다. 이는 마치 주사기를 물속에 넣고 주사기의 피스톤을 잡아당기면 그 내부에 저압부가 생겨 물이 주사기 내부로 빨려 올라오는
식 ①에서 몰분율(XA)을 전압과 분압으로 표시하고 적분하여 정리하면
이 된다. 그러므로 A물질의 B물질에 대한 확산계수 D는 다음과 같다.
여기서 T : 액체의 절대온도 [ K ]
P : 대기압 (전 기압) [atm]
PB1, PB2 : Z1, Z2에서의 B의 분압 [atm]
(A의 증기압 (at T[℃])를 뺀 것)