후방산란전자(Back Scattered Electron)등이 방출되게 되는데 이것들은 시료의 정보를 가지고 있으므로 시료의 특징을 파악하는데 중요한 요소가 된다. 이 두 전자의 가장
되므로 contrast의 차이가 나타난다. 반대로 말하면 SEM을 이용해서 각 부분이 서로 다른 조성을 이루고 있음을 알 수 있는 것이다. SE Mode
투과전자현미경은 주로 시료의 내부구조나 단면을 관찰하는데 쓰이고 있다. 원리는 광학현미경과 비슷하다. 전자현미경에서의 광원은 높은 진공 상태(1x10-4 이상)에서 고속으로 가속되는 전자선으로 이 전자선이 표본을 투과하여 형광판이나 사진필름에 초점을 맞추어 투사된다. 이 전자의 파장은 가
1.이론 및 원리
★ SEM
시료에 입사된 전자빔의 상호작용으로 다음 3가지 종류의 신호가 발생된다.
후방산란전자
2차 전자
X선 형광
★ AFM
주사탐침현미경
(SPM; scanning probe microscope)
탐침을 시료에 근접시켰을 때 바늘 끝이 느끼는 근접장 상호 작용을 이용하여 표면 형상뿐 아니라 다양한 물리
후방산란전자가 나오며 이를 검출하여 이미지화한다.
SEM은 고체 상태에서 작은 크기의 미세 조직과 형상을 관찰할 때 널리 쓰이며, 1965년 최초로 상품화된 후 초점 심도가 대단히 깊고 3차원적인 영상의 관찰이 용이해서 광학현미경으로 불 수 있는 것보다 복잡한 표면구조 나 결정 외형 등의 입체적