SEM은 시료 표면에서 발생한 이차 전자의 신호량의 대소를 검출기로서 점의 명암으로 영상화하는 것.
집속렌즈는 전자총을 빠져나온 전자선을 모아주는 역할을 한다.
대물렌즈는 시료에 조사되는 전자선의 크기를 결정한다.
→ 대물렌즈와 시료표면 사이의 거리(Working Distance)를 조절하여 초점
SEM?
Scanning electron microscope
To analysis surface of specimen
Qualitative analysis at certain point
Operation principal of SEM
Emission electron from filament
Accelerate electron by electric field
Focusing electron by lens → mono-chromatic electron beam
Generate secondary electron and etc.
Detection of electron
전자현미경의 개발배경
-광학현미경의 분해능인 빛의 파장의 한계인식
-전자의 발견 및 전자파동설의 대두
(전자빔의 경우 De Broglie equation에 따라 파동성을 갖는다)
-전자의 자계에 의한 렌즈작용의 이론화
-TEM의 개발(1931)
-SEM의 개발(1938)
배경이론
- 독일의 물리학자 압베 (E. Abbe)가
2. 실험결과
2.1. 머리카락
Figure 2-1. 머리카락 SEM image(20kv, x700)
가속전압 20kv, 확대율 700배로 관찰한 머리카락의 SEM Image이다. 머리카락의 직경은 약 67.77um이며, 층상구조의 표면을 가지고 있는 것으로 확인할 수 있었다. 머리카락 옆에 달라붙은 물질은, Carbon tape의 접착 물질이 붙은 것으로 보인다.
정확한 정보를 기반으로 기업의 경영을 지원하는 SEM
가. SEM(Strategic Enterprise Management)의 정의
- 기업의 각종 경영정보를 정확히 분석하고 파악하여 경영진이 가치중심 경영을 전사적으로 구현할 수 있도록 지원하는 시스템으로 전략적 기업경영은 기업의 경영정보를 보다 정확히 파악하여 임원 및 최고
기기분석-SEM과 IC
[실험] SEM을 이용해 머리카락, 모기, 새의 깃털 관찰
(주)에스이엠 기업보고서(NR1)
