3.1.1. 이상적인 MOS Capacitor
실제로 MOS Capacitor가 받는 표면효과는 매우 복잡하다. 이상적인 MOS Capacitor는 이런 표면효과를 무시한 것이다. 이런 MOS Capacitor는 변형된 일함수 을 사용하는 것이 편리하다. 일함수 이란 금속의 페르미 준위부터 산화물의 전도 대역까지의 크기를 말한다. 이 때 페르미 준위
Super-capacitors
EDLC(electrochemical double layer capacitors)
→ store E using ion adsorption
Pseudo-capacitors
→ fast surface redox reactions
→ higher capacitance than EDLC
Redox super-capacitors
electron transfer caused by electrochemical oxidation and reduction of active reagents
between two electrodes with different potentials
charge transfer properties
investigating
1. 실험목적
MOS capacitor를 직접 제작하며 그 작동 원리를 이해한다. 또한 산화층(SiO2)의 두께(100nm, 200nm, 300nm)와 금속게이트(Au, Ti)를 변수로 하여 이들의 차이에 의한 C-V, I-V 그래프를 분석한 후 이를 바탕으로 산화층의 두께 및 금속게이트의 종류가 MOS capacitor에 미치는 영향을 분석한다.
2. 실험배경
1. 실험목적
MOS capacitor를 직접 제작하면서 그 공정을 이해하고, Metal층과 Oxide층, 공정과정의 종류를 변수로 놓고, 각 device별로 C-V와 I-V를 측정하여 각각의 변수가 Capacitance와 Current에 어떤 영향을 미치는지에 대하여 분석해 본다.
2. 실험이론
① MOS Capacitor
(a) MOS Capacitor의 구조
MOS capacitor의 구조
C-V그래프의 예상되는 결과를 살펴보기 위해 capacitance를 구하는 식을 살펴보면 다음과 같다.
(k=유전상수, A= 도체판의 단면적, d=절연체의 두께)
Capacitor의 내부를 살펴보면 대전된 도체판에 의해 두 도체판사이의 절연체에 전하가 유도된다. 이 유도된 전하는 절연체의 유전율(permitivity)를 결정하며 모든