형태의 불량을 야기하여 각 단일 Panel 및 Chip의 수율 저하를 발생하며, 이는 Cost 증가로 직결된다.
→ 수익성 강화를 위해서는 Particle 관리 즉, CleanRoom의 청정도 관리가 필수이다.
현재는 고 PPI (고해상도)의 Display를 추구하고 있으며, 이로 인하여 CleanRoom의 청정도 관리는 더 중요한 문제로 부각된다.
1) 클린룸(Crean Room)의 정의
클린룸(cleanroom) 이란 제어, 통제가 행해지고 있는 한정된 공간으로, 클린룸내 생산제품의 품질에 영향을 미치는 요소를
제어 혹은 최소화하는 실(Room)을 말하며 이러한 제어를 위한 고도의 청정 기술과 다양한 제어 기술이 집약된 에너지
다소비 설비이다.
클린룸이 사
2. 이론
Pattern 공정을 하기 위해서는 주변의 청정도가 매우 중요한데, 아래 그림에서 보는 것과 같이 Cleanroom 에서 빛에 노출되지 않는 환경을 구비한 후 공정을 시작하여야 한다.
◦ Cleaning & Wet-Station 의 중요성
모든 반도체 공정은 오염물들의 근원이고 이는 소자의 성능과 수율에 직접적인
2. 이론
Pattern 공정을 하기 위해서는 주변의 청정도가 매우 중요한데, 아래 그림에서 보는 것과 같이 Cleanroom 에서 빛에 노출되지 않는 환경을 구비한 후 공정을 시작하여야 한다.
◦ Cleaning & Wet-Station 의 중요성
모든 반도체 공정은 오염물들의 근원이고 이는 소자의 성능과 수율에 직접적인
Room 등 병동 내 편의시설 배려
중심형 System
컴팩트한 집중식 개념으로 수직동선을 중심으로 각부서 를 근접시켜 동선을 단축시킬 수 있음
대지가 협소한 도심지에 주로 나타나는 형태
증축, 용도변경이 어렵고 자연채광 도입에 불리함
예 : 분당차병원, 인하대학 부속병원 한