1) 클린룸(Crean Room)의 정의
클린룸(cleanroom) 이란 제어, 통제가 행해지고 있는 한정된 공간으로, 클린룸내 생산제품의 품질에 영향을 미치는 요소를
제어 혹은 최소화하는 실(Room)을 말하며 이러한 제어를 위한 고도의 청정 기술과 다양한 제어 기술이 집약된 에너지
다소비 설비이다.
클린룸이 사
1.공정입자의 발생원인과 그로인한 영향
우선 원인으로 공정과정중 작업자의 호흡과 땀등으로 통한 입자 발생을 꼽을 수 있다. 이러한 원인으로 인하여 NH3,탄화수소 등의 입자가 발생하게 되는데 이로인해 공정입자가 발생하게 된다. 또한 cleanroom을 구성하는 콘크리트나 내부에 존재하는 기구들의 재
형태의 불량을 야기하여 각 단일 Panel 및 Chip의 수율 저하를 발생하며, 이는 Cost 증가로 직결된다.
→ 수익성 강화를 위해서는 Particle 관리 즉, CleanRoom의 청정도 관리가 필수이다.
현재는 고 PPI (고해상도)의 Display를 추구하고 있으며, 이로 인하여 CleanRoom의 청정도 관리는 더 중요한 문제로 부각된다.
2. 이론
Pattern 공정을 하기 위해서는 주변의 청정도가 매우 중요한데, 아래 그림에서 보는 것과 같이 Cleanroom 에서 빛에 노출되지 않는 환경을 구비한 후 공정을 시작하여야 한다.
◦ Cleaning & Wet-Station 의 중요성
모든 반도체 공정은 오염물들의 근원이고 이는 소자의 성능과 수율에 직접적인