1. Introduction
1.1 TEM이란?
TEM(투과전자현미경)은 평광한 전자선을 사용하여 시료를 투과시킨 전자선을 전자렌즈로 확대하여 관찰하는 전자현미경이다. 직접배율의 범위는 통상 100배에서 100만배 가량으로 관찰하고자 하는 시편의 파장보다 파장이 더 작은 가속전자를 발생시켜 전자 렌즈계를 거쳐
1980년대부터 집합조직을 방위분포함수(ODF, orientation distribution function)으로 정 량적으로 표현하기 시작했고, 현재 집합조직을 연구하는 대부분의 연구는 집합조직을 X-선 회절법이나 EBSD(electron backscattered diffraction)로 측정하여 방위분포함수로 계산하 고 있다.
3. 실험 장치 및 방법
3-1. SEM(Scanning
1) Will a proton and an electron attract or repel each other? Why?
⇒ attract. 전자는 (-)전하를 띠고 양성자는 (+)전하를 가지기 때문이다.
2) What did the Rutherford expriment demonstrate?
⇒ 금으로 된 얇은 막에 α입자(전자가 제거된 He원자)를 충돌시켰다. 그리고 형광 막을 써서
α입자들이 얼마나 산란되
제목: 오존수와 고체산(sol-gel법)을 이용한 웨이퍼 세정
문제제기: .기존 RCA법의 요염물 다량 배출(H202, DI water 및 HCl)
기존 RCA법에서 고가 운영비(과산화수소 처리공정, 높은 온도유지)
.반도체가 점점 작아지면서 미세한 오염물 제거의 필요성
지표면 오존의 심각성(오존주의보)
Ⅰ. 개요
스웨덴의 지역혁신체제는 기술혁신 집적지역(innovative cluster)을 중심으로 발전하여 왔다. 따라서 자동차산업, 철강 및 신소재산업, 정보통신산업, 생명공학산업 등 다수의 세계적 수준의 기술혁신 집적지역이 존재하고 있다. 성공적인 기술혁신 집적지역은 모두 지역을 거점으로 성장하여 왔