Pt Film
불투명한 Pt금속으로 되어 있기 때문에 가시광선의 투과율이 약 23%로 현저히 떨어졌음.
Hole Pattern
(15s Etch)
Hole Pattern을 통해 빛이 투과되므로 투과율이 높아짐.
전기는 통하지 않았지만
가시광선 영역에서 투과율이
높았으며, 균일한 Pt Film이
형성될 경우 전기가 통할 것
으로 예상.
for staggered TFT, because of the high resistance of a-Si:H.
Due to the resistance, the TFT where source & drain overlap with gate shows good electrical characteristics.
1. 증착 순서: 비정질 실리콘 위에 질화막을 연속으로 증착한 후 질화막을 패턴닝한다. 패턴닝된 질화막의 위에 n+층을 증착하고 그 위에 소오스-드레인 전극을 형성한다.
1. Dry Etch; PR 등의 보호막으로 가려져 있지 않은 부위의 막질 제거
2. Ashing; PR 제거
3. Plasma Nitridation; 얇은 산화막 등 유전막의 특성 개선을 위한 표면 처리
4. Plasma Oxidation; Transistor의 특성 개선을 위한 표면 처리
5. 유전막 PE-CVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition); SiON 등의
유전막 증착
6. Barrier Meta
● 유기 발광 전계효과 트랜지스터(organic light-emitting transistor; OLET)
- OLET는 일반적으로 OTFT의 횡적인 전도 채널 구조를 채용하고, OLED와 동일한 전자와 정공의 재결합에 의한 발광 메커니즘을 기반으로 함으로써, 유기 전자 재료 및 소자의 기초적 연구와 기술적 적용 개발에서 모두 유용하다. 아래의 그
1. LCD(Liquid Crystal Display)의 정의
인가전압에 따른 액정의 투과도의 변화를 이용하여 각종 장치에서 발생되는 여러 가지 전기적인 정보를 시각정보로 변화시켜 전달하는 전자 소자이다. CRT와는 달리 자기발광성이 없어 후광이 필요하지만 동작 전압이 낮아 소비 전력이 적고, 휴대용으로 쓰일 수 있어