Ⅰ. What is MEMS..?
(Micro Electro Mechanical Systems)
1. 정 의.
mems란 마이크로 시스템, 마이크로 머신, 마이크로 메카트로닉스 등의 동의어로서 혼용되 고 있으며 번역하면 초소형 시스템이나 초소형 기계를 의미한다. 아직까지 정식으로 논의 되어 선정된 단어는 없지만 현재 선도 기술사업으로 진행되고 있
Ⅰ. 광학과 근접장광학
나노 크기의 물체에 유도된 근접장 광을 측정하여 회절한계 이하의 공간분해능을 얻을 수 있는 광학현미경을 주사근접장 광학현미경(SNOM : scanning near-field optical microscopy)이라고 한다. 예를 들어 나노 크기의 미세한 물체가 놓인 표면에 조사광을 쏘아주어 유도되는 물체의 근접