ToolsThe MBE growth can be monitored in real-time using a Reflective High Energy Electron Diffraction (RHEED) system. The system includes an electron gun which directs an electron beam towards the substrate at a shallow angle (1-2°), and a phosphor screen which detects the diffracted beam.
As the substrate surface varies (from rough to smooth) so does the pattern detected at the screen.
1. Univex 450 Evaporator
1) 구 조
메인 챔버, 기판홀더, Boat, 컨트롤러박스, 로터리 펌프, 터보펌프, 냉각수 흘려주는 장치
2) 주요 성능
전압을 이용해 저항열을 발생시킨다. 이 열에 의해 원소를 증발시켜 기판에 증착시켜 원하는 시료를 얻게된다.
3) 작동 순서
가) 메인 전원스위치를
[3] Thin Film Deposition
초집적 반도체를 구성하는 소자들은 그 특성상 그 크기가 매우 얇아(작고) 미세한 조직을 가진다. 그리고 이것은 박막 증착(TFD = Thin Film Deposition) 공정을 통해 제작된다. 박막 증착이란 이름 그대로 표면에 얇은 막을 씌우는 기술을 뜻하는데 이 공정을 통해 기판(substrate)이나 이전에
- 가장 보편화된 나노기술현재 인간이 가지고 있는 보편화된 기술 중 가장 미세한 구조물을 만들어내는 방법이 있다면 그것은 포토리소그래피일 것이다.포토리소그래피는 실제 전자집적회로> 제작에 사용되는 기술로써 그 원리는 다음과 같다.크롬층과 유리기판의 맨 위에 놓인 감광고분자 막 위에 레