폭 넓은 Physics들을 보다 정확하게 예측하는데 많은 도움이 된다.
2)Semiconductor
반도체 산업분야에서 Multi-Physics의 공정해석을 하기 위한 가장 쉽고 발전된 방법이 CFD이다. Semiconductor Processing에서 CFD를 사용하는 공정은 Spin Coating, Lamp House Heating, CVD, MOCVD, MOVPE, PECVD, RTCVD, Etching, Electroplating 등이 있다.
1. 서론1.
최근 우리나라 수출의 핵심은 반도체이다. 반도체 사업은 한동안 최대 효자 종목으로 각광 받았으며 우리나라의 전체적인 산업 수준을 기술 집약형 사업으로 발전하는데 일등으로 기여한 사업이다. 반도체 사업은 메모리와 비메모리 영역으로 나눌 수 있는데 현재 우리나라의 수출 주력 품
Ⅰ. What is MEMS..?
(Micro Electro Mechanical Systems)
1. 정 의.
mems란 마이크로 시스템, 마이크로 머신, 마이크로 메카트로닉스 등의 동의어로서 혼용되 고 있으며 번역하면 초소형 시스템이나 초소형 기계를 의미한다. 아직까지 정식으로 논의 되어 선정된 단어는 없지만 현재 선도 기술사업으로 진행되고 있
인류 역사상 도시혁명, 산업혁명, 정보지식혁명에 이어 네번째로 유비쿼터스 컴퓨팅 혁명이 시작되고 있다. 컴퓨터의 발명으로 시작된 20세기의 정보혁명은 물리적인 공간개념을 뒤엎고 보이지 않는 cyber space를 창조했다. 반면에 유비쿼터스 컴퓨팅 혁명은 일상 생활 환경 속에 컴퓨터를 심는 것으로,
Portable Device
Light & Thin
Emitted heat temperature
35 ~ 40 ℃
Operation Temperature
Frequently used
Speed
↓
These factors must be considered when designed
High Volatility
High Specific heat
Fluid
This cycle is repeated
‘Phase Change’ makes
Heat exchange
‘Thin Layer’ maintaines
this system
This cycle is repeated
Interaction with
Fluid & wall
+
Minia