Advantage
① 낮은 성장률을 가지면서 높은 질의 epilayer을 생성
② 다양한 dopant 성분을 흡착이 가능하고, 복잡한 구조를
가진 다양한 layer를 생성
Disadvantage
① 고진공으로 인한 작동비용이 높음
② source material 교체로 인한 chamber 내부의 오염
③ As와 P이 포함되어 있는 alloy의 성장 제한
MOVPE 리액터가 전국에 걸쳐 650대 정도 설치되어 있다. 이러한 MOVPE 리액터의 대부분은 LED 생산용이며, 나머지는 HBT나 HEMT의 에피텍셜 웨이퍼나 레이저 다이오드를 개발하는데 이용하고 있다. 대만 LED 산업은 생산규모면에서는 세계주요 공급원으로 자리 잡았으나 핵심부분품 및 재료의 특허권은 미국과
폭 넓은 Physics들을 보다 정확하게 예측하는데 많은 도움이 된다.
2)Semiconductor
반도체 산업분야에서 Multi-Physics의 공정해석을 하기 위한 가장 쉽고 발전된 방법이 CFD이다. Semiconductor Processing에서 CFD를 사용하는 공정은 Spin Coating, Lamp House Heating, CVD, MOCVD, MOVPE, PECVD, RTCVD, Etching, Electroplating 등이 있다.