세계2차대전 전후 미국을 중심으로 한 밸브공업은 극심한 공황의 끝에 살려낸 산업의 대량생산체계에 따라 제조공정의 자동화에 부응한 본격적인 의미의 자동제어밸브의 등장이라 할 수 있다.1944년 미국 텍사스주 남부의 휴스턴 근교에 있는 Mansoneilan사는 밸브업계 최초로 밸브의 성능이라고 할 수
챔버(Chamber) 전극 제어부 및 배기라인과 냉각라인의 기본 시스템으로 되어 있다.
1차 펌프로는 저진공 펌프인 기계식 Rotary Pump를 사용하고 2차 펌프는 고진공 펌프인 Diffusion Pump를 사용한다. Rotary Pump로 Chamber에 진공을 잡아 준 후 더 낮은 기압을 갖는 진공을 잡아주려고 할 경우 Diffusion Pump를 이용하여
댐퍼(Fire damper) : 화재발생시 덕트를 통하여 다른 실로 확산되는 것을 방지하기 위해 사용하는 것으로 온도가 72℃ 이상이 되면 댐퍼가 자동적으로 닫힌다.
(3) 챔버(Chamber) : 공조기와 덕트의 접속부분, 취출구 직전에 설치하여 기류를 안정시키는데 사용한다. 소음을 줄이는 소음방지용 챔버도 있다.