열처리, 산화 등의 공정 전에 행하여지는 것으로 "후처리","전처리"라 불리기도 한다. 이공정은 여전히 약액을 사용하는 웨트 처리가 중심으로 ,RCA 세정의 경우는 H2SO4, HCI, NH4OH, HF, H2O2 등의 약액 조합에 의해 처리된다. 웨이퍼 세척과 반도체 공정에 전반적으로 사용되는 중요한 화합물이 Di water이다. Di w
열면의 미세한 공동(cavity)내에 포획되어 있는 과열증기가 핵이 되어 연속적인 핵비등을 일으키는 과정으로써 이를 획기적으로 향상시키기 위해서 마이크로열유체 개념의 새로운 기술개발이 필요하다.
그리고 매끈한 표면에서의 비등 열전달을 향상시키기 위해서 표면을 가공한 낮은 핀관(Low fin tube)
Advantages of LOCs
1)시료 분석에 수반되는 모든 과정들(시료 전처리, 반응, 분리, 검출 등)이 연속적으로 수행된다.
2) 분석시간이 수초 내지 수분으로 매우 짧다.
3) 분석에 사용되는 시료의 양이 수십 pL 정도로 매우 적다.
4) 용매 및 시약 소모량이 매우 적어서 환경친화적인 분석기술이다.
5)
열을 가함으로서 물이 증기로 변할 때 급격히 팽창하게 되는 큰 힘을 이용한 방법이었다. 이 증기엔진이 19세기에 아주 빠른 속도로 공업화를 촉진 시켰는데, 스티븐슨이 증기기관차를 만들고, 조지 풀턴이 증기선을 만들어 물건이나 사람을 실어 나르는 데에 커다란 변화가 이루어졌다. 증기기관은 더