1-1. O-Ring (Perfluoro 재질)의 NMP Dipping Test 결과
결론) 1. Particle : Sample#7의 경우가 7일 경과 時 Max인 2,053ea 측정되었으며, Sample#8의 경우 7일 경과 後 1,329ea 측정되어 1일 경과 後 측정한 Sample#2보다 낮은 수준 검출됨
➜ 개별적인 O-Ring의 특성에 따라 Particle의 수준은 달라지며, 7일 침적한 Sample이 1일 침적한 S
결론) 1. Sampling Bottle의 Size에 따른 Particle 수준 확인 → Bottle Size에 대한 유의차 없음, 동일한 Size의 Bottle의 경우 (동일 조건)에도 변동 발생함
(추정 : Bottle Size가 작을 수록 Sampling 時 Bottle 벽에 부딪혀 생긴 Micro Bubble로 인하여 Particle 개수가 높을 것이다. But, 결론은 유의차 無)
2. Valve Open 정도에 따른 Part
*’Nano’ means….
Nanometer: one billionth of a meter
Nano-: prefix comes from the Greek word for ‘dwarf’
Chemical, physical, and biological properties that differ from those of their larger, or bulk counterparts
Nanotechnology: The National Nanotechnology Initiative(NNI)-> the science of materials and phenomena in the range of 1 to 100nm in diameter
*Features of ‘nanoparticles
1980년대 말 미국 IBM은 기계적 제거가공과 화학적인 제거가공을 하나의 가공 방법으로 혼합한 CMP(Chemical Mechanical Polishing)라는 새로운 연마공정을 개발
CMP는 PECVD와 RIE 공정과 함께 submicron scale의 칩 제조에 있어서 반드시 필요한 공정
ILD(Interlayer Dielectric ; 층간절연막) CMP와 metal CMP는 디바이스 층의