Crosslink의 일반적인 성질
가공성
- 가교가 되면 점성, 흐름이 없는안정한 화학적 형태가 되어 가공성은 떨어짐.
기계적 성질
- 이동성 감소
- 탄성률 증가
(탄성률은 가교밀도에 비례)
- 크리이프 감소
(유리전이 온도 이상에서)
열적 성질
- 유리전이 온도(Tg) 증가
- 열적 안정성 증
1. Photo Lithography
(1) 리소그래피 기술의 개요2-
(1)
리소그래피는 포토마스크 기판에 그려진 VLSI의 패턴을 웨이퍼 상에 전사하는 수단이다. 포토레지스트(감광성 수지)의 도포에서 시작되어 스테퍼(노광장치) 스테퍼(stepper) - p8 참조
에 의한 패턴의 축소투영노광, 현상을 거쳐 포토레지스트를
Understand
Principles of micro-scale patterning process
Experiment
Display devices and MEMS, Developing micro-channel
MEMS
(Micro-Electro-Mechanical Systems)
Technology of very small mechanical devices
What for, MEMS ?
Chemistry, Biology, Medical Science, Mechanics, Electronics
Why, Lab-On-a-Chip ?
Several Lab functions on a single chip
very Small size
Cheap – Mass
Protect underlying tissues from injury: mechanical, heat, cold, biological
Prevent excess water loss
Act as a temperature regulator
Serve as a reservoir for food and water: adipose tissue
Serve as a sense organ for cutaneous senses: pain, heat, cold, pressure, touch
Prevent entrance of foreign bodies: microorganisms.
Epidermis
Keratinocytes, melanocytes
About 0.2mm thickness
Provide v