Lithography은 일반적으로 광에 의하여 마스크(Mask)
상에 기하학적 모형(Pattem)을 반도체 웨이퍼의 표면에
도포되어 있는 얇은 감광재료(Photoresist)에 옮겨 놓은
것이다
1. 감광제는 빛에 예민한 반응을 보이는 화합물로서 현재 반도체
산업에 쓰이는 감광제는 3가지 요소 용제, 다중체, 감응제로 구성
되
The lens is used to focus the sectioned UV light down to a smaller area on the chip. The smallest feature size capable of being written on the wafer is a function of the numerical aperture of the lens as well as the wavelength of the light.
uses a patterned elastomer(e.g. PDMS(Poly DiMethyl Siloxane)) as the stamp, mold, or mask to generate micro-patterns and microstructures
C
원추형 tip(spindt type cathode)
-금속 tip
-실리콘 tip
테두리형 emitter
잎사귀형(leaf type)
빗형(comb type)
별형(star type)
저항층(resistive layer)을 갖는 tip형 emitter
평면형 emitter-MIM구조
-CNT(탄소나노튜브)
형광이란, 물질의 내부에 있는 전자가 외부로부터 에너지
electronic device)이다. 아래 그
림 1. 에서 보는 바와 같이, p-n접합에 순방향으로 전압을 인가하면 n형 반도체의
전자 및 p형 반도체의 정공은 각각 p쪽, n쪽에 주입되어 소수 운반자 (carrier)로서
확산된다. 이들의 소수 운반자는 확산과정에서 다수 운반자와 재결합하며, 결합하
는 전자와 정공의 에너
1.서론
LG이노텍(영어: LG Innotek Co., Ltd.)은 대한민국의 전자부품 제조 회사로 LG 그룹의 계열사이다. 1970년 금성알프스전자㈜라는 이름으로 설립, 이듬해 1971년 대한민국 최초로 TV 튜너를 생산하며 대한민국 전자부품산업의 장을 열었다. 1995년 금성알프스전자㈜에서 LG전자부품㈜로, 2000년 LG이노텍㈜