photopolymeric, photodecomposing, photocrosslinking 등이 있으며, 그 중 photocrosslinking photoresist는 빛에 expose되었을 때 chain 간 cross-linking이 발생한다. SU-8이 그 대표적인 예로, 이는 epoxy-based negative photoresist이다. 따라서 빛에 노출된 부분은 cross-linked 되어 developer에 insoluble하게 바뀌고, 나머지 부분은 그대로 soluble하여
photopolymerization]
빛의 조사(照射)에 의해서 일어나는 중합반응이다. 순수 광중합과 광증감(光增感) 중합으로 나누는데, 어느 것이나 자외선 또는 가시광선이 사용된다. 고분자 화합물 구조에서 반복단위의 기초가 되는 비교적 분자량이 작은 화합물(단위체)에 빛을 조사하면 단위체가 빛을 흡수, 활성
Overview
The printer that is widely used is 2D printer. 2D printer is operated with papers and ink. It can print the letters, shapes and colored pictures on the paper. However, 3D printer can make 3D structure with ink like polymer. 3D printers make the product with not the top-down method but the bottom-up method. The most useful advantage of 3D printer is that it is the more useful device wh
Optimum dose
at the right time
in the right location
The polymer which undergo
“property transformation”
swelling
reversible volume phase-transition
sol-gel phase-transition
in response to the
external physicochemical stimuli,
also called phase-transition polymer.
외부자극에 의해 민감하게 반응해
특성(Property)이 변화하는 고분자,
“상전이
Ion Implantation
Ionized dopant atoms are physically forced into the silicon crystal by accelerating them through high potentials (3 kV- 3 MV) toward the silicon wafer.
– Mass separator allows each implanter to run multiple
processes (B, P, BF2, As...)
– Low temperature (room temperature ~200 °C)
• can use photoresist as a mask
– Needs to be followed by an anneal