Introduction
What is Plasma?
Plasma is the fourth state of matter;
solid, liquid, gas and plasma.
Composition matter of universe
What is Atmospheric plasma?
It is easier to produce plasma in low pressure condition than atmospheric, but producing plasma in vacuum state needs many devices.
So, many researcher study that how to produce plasma in atmospheric condition.
This pictur
● Definition of plasmaPlasma is one of the four fundamental states of matter, along with solid, liquid, and gas. It is an ionized gas consisting of a collection of charged particles, including ions, electrons, and neutral atoms or molecules. Plasma can be found naturally in the universe in the form of stars, lightning, and auroras, but it can also be artificially created and controlled for
Introduction (What is plasma?)
1. Definition of plasmaPlasma is one of the four fundamental states of matter, along with solid, liquid, and gas. It is an ionized gas consisting of a collection of charged particles, including ions, electrons, and neutral atoms or molecules. Plasma can be found naturally in the universe in the form of stars, lightning, and auroras, but it can also be artif
plasma내의 불순물은 핵 site로 작용, 불필요한 먼지 입자를 생성
CVD의 7가지 step
(1)gas stream에서부터 wafer근처로의 precursor의 물질 전달
(2)중간 생성물의 형성
(3)중간 생성물의 wafer표면으로의 전달
(4)Si을 만드는 표면 반응
(5)기상 분해 생성물의 탈 착
(6)wafer로부터 gas phase stream으로 분해 생성물의
Gas Discharge Display)라는 또 다른 명칭이 있습니다.
(2) 정의
PDP는 Plasma를 이용한 미세한 형광등의 집합체를 말하는 것으로 기체방전을 이용한 표시장치로 정의할 수 있습니다. 특히 PDP는 TV와 PC기능을 동시에 구현할 수 있는 강점을 가지고 있음은 물론 50인치 이상의 대형화면도 초박형으로 설계할 수