Ⅰ. 서 론
요즘 사회에서 화두가 되고 있는 것 중 하나가 '나노'라는 낱말이다. 거의 실생활에 '나노기술'이 적용 안되는 곳이 없다. 나노기술은 원자나 분자크기 수준(1나노미터=10억분의 1미터)의 초미세 물질을 다루는 첨단기술이다. 나노기술이란 나노미터 정도로 아주 작은 크기의 소자를 만들고
1.Photolithography
리소그래피는 포토레지스트를 도포하는 공정으로 시작해 노광, 현상, 에칭, 포토레지스트 제거에 이르는 일련의 프로세스이다. 현상까지를 레지스트 처리공정으로 하며, 에칭 공정과 분리해서 생각할 수도 있다. 현재, 패턴 노광은 레티클이라 불리는 마스크 기판에 의해 축소 투영 전