- 가장 보편화된 나노기술현재 인간이 가지고 있는 보편화된 기술 중 가장 미세한 구조물을 만들어내는 방법이 있다면 그것은 포토리소그래피일 것이다.포토리소그래피는 실제 전자집적회로> 제작에 사용되는 기술로써 그 원리는 다음과 같다.크롬층과 유리기판의 맨 위에 놓인 감광고분자 막 위에 레
coil, A transceiver (with decoder), A transponder (RF tag) electronically programmed with unique information. The antenna emits radio signals to activate the tag and to read and write data to it. The reader emits radio waves in ranges of anywhere from one inch to 100 feet or more, depending upon its power output and the radio frequency used. When an RFID tag passes through the electromagnetic zon
필요 없음
◆ 비교적 저렴한 RF전력 사용
◆ 저압에서 플라즈마 점화가 용이
단점
◆ 반응실과 공정실이 분리
2-3. Radical 이란?
1) Radical (Free Radical)
1개 또는 그 이상의 짝짓지 않은 전자를
가진 독립적으로 존재하는 화학종
불안정하고 큰 반응성과 짧은 수명을
특징으로 가진다.
Coil에 고주파 가하면 자기장 발생
챔버 주위로 원형의 유도전기장 발생
플라즈마 내 전자가 전기장 방향 따라 가속되어 에너지 얻음
고밀도 플라즈마 형성
3) ICP의 장단점
4) Helical 공명장치
ICP의 한 형태(차이점 : 공진을 이용)
나선형 공진기(helical resonator)가 Mhz
주파수
미래형 산업 분야의 대부분을
망라하며, 특히 이에 적용되는 구조, 부품,
시스템을 핵심 기술로 인정.
광학용 : optical mirror, switch, waveguide
센서 : 속도계, 압력 센서, 중력계
모터 : 초소형 모터, 기어
생체학 : DNA 칩, 마이크로 펌프, 체내 수술 로봇
RF : 저잡음 장비, 도파관, 필터, inductor, switch