1. 실험목적
SOL-GEL법을 이용하여 구형의 SiO2와 TiO2 nano powder를 합성한다.
2. Sol-Gel 법의 분류 및 공정
Sol-gel법이란 “졸겔 세라믹스”를 제조하는 방법을 뜻한다. 즉, 졸→겔→세라믹스의 과정을 거치는 공벙을 말한다. 여기서 졸(sol)이란 일반적으로 1~1000nm정도의 입자들(콜로이드)로 이루어져
제목: 오존수와 고체산(sol-gel법)을 이용한 웨이퍼 세정
문제제기: .기존 RCA법의 요염물 다량 배출(H202, DI water 및 HCl)
기존 RCA법에서 고가 운영비(과산화수소 처리공정, 높은 온도유지)
.반도체가 점점 작아지면서 미세한 오염물 제거의 필요성
지표면 오존의 심각성(오존주의보)
1. History
■ 1846년 Ebelmen : 규산에스테르의 가수분해반응을 이용하여 겔을 만듦
■ 1959년 Shott사 : 금속알콕사이드를 이용하여
SiO2막이나 TiO2-SiO2막을 판유리 위에 형성 연구
■ 1970년대 : 유리 분야 뿐만 아니라 졸의 겔화시 섬유, 벌크 소결체나 코팅막
으로 열
Sol-Gel process
Sol-Gel 방법은 알콕사이드(alkoxide) 화합물을 물과 에탄올 혼합용매에서 산 또는 알칼리 촉매를 이용하여 SiO, TiO와 같은 입자를 제조하는 방법이다.
졸(Sol)이란 일반적으로 1~1000 nm 정도의 입자들로 이루어진 콜로이드 서스펜션을 말한다. 이들은 중력의 작용이 무시될 정도로 입자의 크기가
Sol-Gel법
Sol: 액상에 고체입자가 분산되어 있는 콜로이드
- Aerosol : 기상에 고체입자 혹은 액적이 분산
- Emulsion : 액상에 액적이 분산
Gel: Sol의 입자들이 물리적인 힘으로 연결되어
형성(gelation)된 망상조직.
- Xerogel : 상압에서 Sol용액을 증발시켜 얻은 젤
- Aerogel : 고온 감압 하에서