전자현미경의 개발배경
-광학현미경의 분해능인 빛의 파장의 한계인식
-전자의 발견 및 전자파동설의 대두
(전자빔의 경우 De Broglie equation에 따라 파동성을 갖는다)
-전자의 자계에 의한 렌즈작용의 이론화
-TEM의 개발(1931)
-SEM의 개발(1938)
배경이론
- 독일의 물리학자 압베 (E. Abbe)가
1. Introduction
1.1 TEM이란?
TEM(투과전자현미경)은 평광한 전자선을 사용하여 시료를 투과시킨 전자선을 전자렌즈로 확대하여 관찰하는 전자현미경이다. 직접배율의 범위는 통상 100배에서 100만배 가량으로 관찰하고자 하는 시편의 파장보다 파장이 더 작은 가속전자를 발생시켜 전자 렌즈계를 거쳐
TEM의 구성
TEM은 여러개의 서로 다른 system을 합쳐서 극히 얇은 시편의 위치 및 방향을 조절하고 영상을 형성하는 1개의 기능을 수행하도록 구성되어 있다.
Illuminating system은 전자총(electron gun)과 집광렌즈(condenser lenses)로 구성되어 시편에 입사되는 전자비임의 양을 조절한다.
specimen manipulation system 은
과제
Explain the mechanism of TEM and SEM and compare the two microscopic techniques Refer to Example 7.2 on page 258
Example 7.2 - Estimating the de Broglie wavelength Estimate the wavelength of electrons that have been accelerated from rest through a potential difference of 40kV
Mechanism of TEM
가속 전자를 광원으로 사용
광원으로 쓰이는 전자는 음전하를 띠고
1.TEM이란?
투과전자현미경(TEM:transmission electron microcope)은 생물, 의학, 재료 등 거의 모든 자연과학과 기술의 연구에서 필수적인 도구로 활용되고 있는데,
이는 전자현미경의 해상력이 뛰어나서 미시적인 내부구조를 고배율로 확대하여 직접 관찰할 수 있고 마이크론 이하의 국부적인 영역의 화학