Thermal Evaporator의 구조
Thermal Evaporator는 챔버(Chamber) 전극 제어부 및 배기라인과 냉각라인의 기본 시스템으로 되어 있다.
1차 펌프로는 저진공 펌프인 기계식 Rotary Pump를 사용하고 2차 펌프는 고진공 펌프인 Diffusion Pump를 사용한다. Rotary Pump로 Chamber에 진공을 잡아 준 후 더 낮은 기압을 갖는 진공을 잡아
1. Thermal evaporator
① Thermal evaporator란?
Thermal evaporation을 하는 데에 사용되는 장비를 Thermal evaporator라고 부릅니다. 반도체 소자를 만드는 일련의 공정을 반도체 공정이라고 합니다. 이 반도체 공정은 산화공정, Diffusion 공정, 이온주입공정, 화학기상증착공정, 사진식각공정, 금속공정으로 나누어집니다.
1. 경피적 간담관 배액(Percutaneous transhepatic biliary drainage: PTBD)
1) 경피적 간담관 배액은 수술이 불가능하거나 수술의 위험성이 높은 환자에게 간, 췌장 담관 등의 암으로 인한 담관의 폐색을 완화시키는 방법이다. 이 방법을 통해 담즙을 십이지장으로 쉽게 통과시켜서 황달과 불편감을 감소시킬 수 있
CAVITY
일정한 속도의 액체가 면적이 작은 부위(수축부 Vena Contracta)를 지날 때 유체의 속도(V)는 빨라지고 압력(P)은 떨어진다, 이때 액체압력이 그 액체의 증기압(Pv)보다 낮아지면 기포가 발생 Vapor 상태가 되는데 이것을 Cavity라 한다. 이 기포는 다시 압력이 상승함에 따라서 밸브Trim 이나 Body 내벽에서