에너지를 전달해줌으로써 target원자들이 방출되는 현상이다.
* target (음극, 캐소드) : 모든 종류의 스퍼터링에서 박막이 만들어지는 덩어리
In this paper discuss luminescence properties for multilayer structures of ZnO nanocrystals embedded in SiO2, which were produced by magnetron sputtering.
* Use TEM & PL
Ⅰ. 실습목적
BaTiO3는 높은 유전율을 갖고, 실온 부근에서 강유전성을 나타내는 페로브스카이트 구조 를 갖는 물질이다. BaTiO3는 현재 M.L.C(Multi Layer Capacitor)나 B.L.C(Barrier Layer Capacitor)의 주된 원료이며, 압전성을 갖고 있기 때문에 압전체로도 이용되고 있다. 또한 미량의 첨가제를 첨가하면 ‘+’의 저항
1. 적층세라믹콘덴서(MLCC)
세라믹콘덴서는 산화티탄 등 유전율이 큰 자기를 유전체로 쓰고 있어 소형이면서도 큰 용량을 낼 수 있는 강점을 앞세워 수량면에서 고정콘덴서 시장의75%가량을 점하고 있다. 이 세라믹콘덴서도 칩화율이 전체의 70%를 넘어소형 칩타입인 적층세라믹콘덴서(MLCC)가 주류를 이
Abstract
Amorphous silicon solar cell has advantages of low processing cost and higher light absorption coefficient over crystalline silicon solar cell. However, short lifetime and instability against the light are the major drawbacks. This report aims to investigate the ways for achieving longer lifetime and robustness of amorphous silicon solar cell against the light. The potential solution of
(Up) Schematic diagram of apparatus used for RIE in semiconductor processing.
(Right) RIE system from Eidgenossische Technishe Hochschule Suiss Federal Institute of Technology
(http://www.ifm.ethz.ch/mems/eq_rie.htm
Wafer가 놓이는 전극에
RF전압을 인가하고, 공정압력을
낮게 유지하여 Plasma 중의 양이온이
Plasma sheath를 통해 가속되게
함으로써