cement and sand, gouge the interval and call method of construction to inlay reinforcing rod.
This method of construction that is called alias reinforcing rod Konkeuri Teugongbeop (鐵 筋 Concrete 工法) is used widely in construction of apartment etc.. in domestic by one of quantity zero methods of modern upper floor construction with iron frame (鐵骨) method of construction (alias H beam m
Ⅰ. 개요
분말도가 미세한 시멘트 일수록, 응결시간이 빠르게 될수록 블리딩은 적게 된다. 초속경 시멘트는 응결이 매우 빠르기 때문에 블리딩은 거의 발견되지 않는다. 또한 일반적으로 골재가 작을수록 표면적이 크게 되기 때문에 블리딩은 작게 되겠지만, 잔골재의 입경이 작게 될수록 잔골재율을
Ultra High Vacuum)에서 이루어진다. ingot의 양에 증착되는 film의 양을 control 할 수 있으며 열전자를 사용하기 때문에 융점이 높은 물질도 쉽게 증착 할 수 있는 장점이 있다.
electron beam
To Vacuum Pumps
vapor stream
substrate holder
Three Ingot Feeders
Four Independent
ion Sources
To Vacuum Pumps
electron gun
그림2. E-bea
② Thermal Evaporator
각종 금속(Au, Al, Ti, Cr, In, Ni)과 유전체(SiO2)의 박 막을 기판 위에 증착할 수 있는 장비이다. 진공도는 Torr까지 얻을 수 있다. 박막 증착시에는 박막 두께 측정 센서를 통해 박막의 두께를 확인하며 공정을 진행할 수 있다. 박막은 보통 0.5 Aring/sec ~ 1.0 Aring/sec의 증착 속도로 증착을 하