따라 물질의 광학적 성질이 다른 것)
[ A-Si TFT 의 동작방식과 구조, 공정 ] 일부 발췌 요약
o 비정질 실리콘(amorphous Si)
- 이웃하는 4개의 다른 Si와 고유결합
- 수소원자를 연결하여 비정질 실리콘 (a-Si:H)생성
- a-Si:H : 직접반도체
- 증착용이
- 저온증착가능
- TFT공정의 유연성
(중략)
Si:H의 높은 resistance때문이다.
Resistance 때문에 Gate와 overlap되는 source와 drain이 있는 TFT는 좋은 전기적 특성을 가지게 된다.
-Amorphous silicon is usually used for staggered TFT, because of the high resistance of a-Si:H.
Due to the resistance, the TFT where source & drain overlap with gate shows good electrical characteristics.
1. 증착 순서: 비정질
비정질 실리콘은 많은 분야에 있어서 응용되고 있으며, 잠재력을 갖고 있는 물질이다. 저온 공정이 가능하고 빛에 대한 높은 감도를 가지며, 대면적에서 균일한 특성을 가진다. 화학 연료에 의한 환경 파괴 및 에너지 고갈에 따른 대체 에너지의 일환으로 비정질 실리콘을 이용한 태양전지(solar cell)는
단결정 Si 태양전지란?
태양전지란?
식물의 광합성 원리를 기초로 발전한 기술로,
햇빛을 통해 전기를 생산한다.
P-type 반도체와 N-type 반도체라고 하는
2종류의 반도체를 사용해 전기를 발생시킨다.
단결정 + 실리콘(Si) = 단결정 Si 태양전지
단결정 : 내부의 구성원자가 규칙적으로 배열된 순수