loop, Y축에 rate of airflow, X축에 total volume of expiration or inspiration
G. Calibration and quality control
Spirometer의 quality control은 calibration과 매우 밀접한 연관이 있다. calibration은 quality control을 위한 adjustment를 하는 과정이다. spirometer로 측정된 air quantity가 알고 있는 수치와 근사치인 경우 instrument는 accurate하다고 할
1.Photolithography
리소그래피는 포토레지스트를 도포하는 공정으로 시작해 노광, 현상, 에칭, 포토레지스트 제거에 이르는 일련의 프로세스이다. 현상까지를 레지스트 처리공정으로 하며, 에칭 공정과 분리해서 생각할 수도 있다. 현재, 패턴 노광은 레티클이라 불리는 마스크 기판에 의해 축소 투영 전