3.1.1. 이상적인 MOS Capacitor
실제로 MOS Capacitor가 받는 표면효과는 매우 복잡하다. 이상적인 MOS Capacitor는 이런 표면효과를 무시한 것이다. 이런 MOS Capacitor는 변형된 일함수 을 사용하는 것이 편리하다. 일함수 이란 금속의 페르미 준위부터 산화물의 전도 대역까지의 크기를 말한다. 이 때 페르미 준위
breakdown voltage와 SILC(stress induced leakage current), 우리조의 변수에 annealing 처리가 들어있지 않았던 것, 그리고 마지막으로 표피 효과이다.
(1)breakdown voltage
유전물질은 전하의 흐름을 막는 성질이 있는 물질이다. 유전물질과 일반 전도물질의 차이는 전도물질에는 자유전자가 있어 전자가 자유롭게 움직
Atoms/cm3
Atomic weight
An atom mass
Breakdown field
Binding energy(with Si)
Crystal structure
Density
Solid
Liquid at 1412℃
Dielectric constant, εr
Effective density of states of NC
Effective density of states of Nv
Effective mass, m*/m0
Electrons
Holes
Electron affinity, χ
Energy gap, Eg
Heat capacity
Solid
Liquid at 1,412℃
Index of refraction, n
Intrinsic carrier con