Electron Microscope)
Images are produced by scanning a focused electron beam across the surface of a specimen. In the most common mode, the low energy secondary electrons emitted are detected and used to modulate the brightness of a synchronously scanned CRT. Other signals can also be detected. X-rays, characteristic of that part of the specimen probed by the electron beam, allow both a quali
electron beam)을 표본의 표면에 주사한다. 주사된 전자선이 표본의 한 점에 집중되면 일차전자만 굴절되고 표면에서 발생된 이차전자는 검파기(detector)에 의해 수집되어 그 결과 생긴 신호들이 여러 점으로부터 모여들어 음극선관(cathod ray tube)에 상을 형성한다. 주사전자현미경의 특징은 초점이 높은 심도
Electron)등이 방출되게 되는데 이것들은 시료의 정보를 가지고 있으므로 시료의 특징을 파악하는데 중요한 요소가 된다. 이 두 전자의 가장
되므로 contrast의 차이가 나타난다. 반대로 말하면 SEM을 이용해서 각 부분이 서로 다른 조성을 이루고 있음을 알 수 있는 것이다. SE Mode에서 Atomic Number Contrast는
of microscopy that forms images of surfaces using a physical probe
the interaction between end of the tip and surface of sample
not only the images of surface of sample but also the various physical properties of sample
The components of SPM
Probe
optical mechanic part to detect interactions
three-dimensional nano scanner part
digital electronic control part
software part