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대학레포트
[졸업][기계공학] MEMS의 기하학적 최적설계 동향
1.서론 최근 반도체 직접회로 제조기술을 응용한 미소기계부품의 제작이 가능하게 됨에 따라 마이크로미터, 나노미터 크기의 미소부품과 이들의 작동에 필요한 집적회로를 하나의 칩으로 일체화 시킨 미세전기기계시스템(MEMS: MicroElectroMechanical Systems)이 등장하였으며, 급격한 발전을 이룩하였다. 또
2004-01-15 | 5,200원 | 36p |
졸업논문전기전자 브릿지구조물 기계설계 구조물공정
[졸업][기계공학] MEMS의 기하학적 최적설계 동향
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